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產(chǎn)品列表 / products

日本ULVAC CFB-600N耐腐蝕分子泵技術(shù)資料

更新時(shí)間:2016-01-05 點(diǎn)擊量:734

一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

        CFB-N系列耐腐蝕分子泵其葉輪采用國(guó)內(nèi)*的變截面葉齒,軸承采用陶磁精密軸承,以更高的可靠性實(shí)現(xiàn)了清潔無油的高真空環(huán)境,產(chǎn)品做了耐腐蝕的設(shè)計(jì),具有*的耐腐蝕性能,廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。

 

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

        

  • 由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
  • 軸承采用脂潤(rùn)滑陶瓷精密軸承,可以實(shí)現(xiàn)泵的任意角度安裝。

 

三、主要性能指標(biāo)

 

型號(hào)

CFB-600N

進(jìn)氣口法蘭

LF160

CF150

排氣口法蘭

KF40

抽氣速率

L/s

600

壓縮比N2/H2

1×109/8×103

極限壓強(qiáng)

Pa

5×10-7

8×10-8   

電機(jī)轉(zhuǎn)速

rpm

24000

啟動(dòng)時(shí)間

min

<4.5

使用場(chǎng)合

耐腐蝕

振動(dòng)值

μm

≤0.1

前極泵

L/s

4-8

冷卻水溫度

≤20

泵體烘烤溫度

<120

冷卻水流量

L/min

1

加熱器功率

W

<550

加熱器輸入電壓

V

AC220

安裝方向

垂直±5°

重量

kg

~29

 

四、特性曲線及安裝尺寸

 

CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)大氣的抽速曲線 

CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線

 CFB-N系列耐腐蝕復(fù)合分子泵安裝尺寸表

型號(hào)規(guī)格

CFB-600N

高真空法蘭

LF160

CF150

D1

Ф180

Ф202

D2

Ф236

Ф236

D3

□145.7

□145.7

L1

128

128

L2

137

137

H1

395.5

395.5

H2

108

108

H3

135.5

135.5

H4

104

104

泵腿螺釘孔

4-M8

4-M8

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